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高(gāo)純氮氣在集成電路、半導體和(hé)電真空(kōng)器件制造中用(yòng)作(zuò)保護氣和(hé)運載氣，化學氣相澱積時(shí)的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高(gāo)溫擴散爐中用(yòng)作(zuò)器件的保護氣。高(gāo)純氮在外(wài)延、光刻、清...
