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青島高(gāo)純氣體氧氣是一種無色無臭無味氣體，分子式是O2純度≥99.995%。塵埃(φ≥0.5μm)≤3.5粒/L，雜(zá)質含量N2≤10 cm3/m3，Ar≤5cm3...
青島高(gāo)純氣體高(gāo)純氧氣用(yòng)于二氧化矽的化學氣相沉積；作(zuò)爲氧化源與産生高(gāo)純水(shuǐ)的反應劑；幹法氧化；與四氟化碳混合，用(yòng)于等離子刻蝕。氧的主要用(yòng)途源于它能(néng)維持生命和(hé)助燃性質...
