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1、特種氣體(Specialty gases):指那些(xiē)在特定領域中應用(yòng)的, 對(duì)氣體有特殊要求的純氣、高(gāo)純氣或由高(gāo)純單質氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門(mén)類繁多, 通常可區(qū)分爲電子氣體、标準氣、環保氣、醫(yī)用(yòng)氣、焊接氣、殺菌氣等, 廣泛用(yòng)于電子、電力、石油化工(gōng)、采礦、鋼鐵(tiě)、有色金(jīn)屬冶煉、熱力工(gōng)程、生化、環境監測、醫(yī)學研究及診斷、食品保鮮等領域。
2、标準氣體(Standard gases):标準氣體屬于标準物質。标準物質是高(gāo)度均勻的、良好(hǎo)穩定和(hé)量值準确的測定标準, 它們具有複現(xiàn)、保存和(hé)傳遞量值的基本作(zuò)用(yòng), 在物理(lǐ)、化學、生物與工(gōng)程測量領域中用(yòng)于校. d( [準測量儀器和(hé)測量過程, 評價測量方法的準确度和(hé)檢測實驗室的檢測能(néng)力, 确定材料或産品的特性量值, 進行量值仲裁等。大(dà)型乙烯廠(chǎng)、合成氨廠(chǎng)及其它石化企業, 在裝置開(kāi)車、停車和(hé)正常生産過程中需要幾十種純氣和(hé)幾+百種多組分标準混合氣, 用(yòng)來(lái)校準、定标生産過程中使用(yòng)的在線分析儀器和(hé)分析原料及産品質量的儀器。标準氣還可用(yòng)于環境監測, 有毒的有機物測量, 汽車排放(fàng)氣測試, 天然氣BTU 測量, 液化石油氣校正标準, 超臨界流體工(gōng)藝等。标準氣視(shì)氣體組分數區(qū)分爲二元、三元和(hé)多元标準氣體; 配氣準度要求以配氣允差和(hé)分析允差來(lái)表征;比較通用(yòng)的有SE2M I 配氣允差标準, 但(dàn)各公司均有企業标準。組分的最低(dī)濃度爲10- 6級, 組分數可多達20餘種配制方法可采用(yòng)重量法, 然後用(yòng)色譜分析校核, 也(yě)可按标準傳遞程序進行傳遞。
3、電子氣體(Elect ron ic gases):半導體工(gōng)業用(yòng)的氣體統稱電子氣體。按其門(mén)類可分爲純氣、高(gāo)純氣和(hé)半導體特殊材料氣體三大(dà)類。特殊材料氣體主要用(yòng)于外(wài)延、摻雜(zá)和(hé)蝕刻工(gōng)藝;青島高(gāo)純氣體主要用(yòng)作(zuò)稀釋氣和(hé)運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和(hé)使用(yòng)場合,可分爲電子級、L S I (大(dà)規模集成電路) 級、VL S I (超大(dà)規模集成電路) 級和(hé)UL S I (特大(dà)規模集成電路)級。