青島高(gāo)純氣體中雜(zá)質說明(míng)

發布日期：2022-02-24 作(zuò)者：點擊：

高(gāo)級工(gōng)藝半導體産業仍遵循摩爾定律的發展要求，同時(shí)不斷同步督促電子特種氣體産業不斷發展。抛開(kāi)工(gōng)藝本身的難度不談，非工(gōng)藝技術的質量控制水(shuǐ)平将對(duì)未來(lái)電子特種氣體産業的适者生存起到(dào)決定性的作(zuò)用(yòng)。青島高(gāo)純氣體雜(zá)質說明(míng):

1.常規雜(zá)質：

H2、O2、N2、Ar、CO、CO2、CH4、H2O。

原料中難以分離物質。

2.特殊雜(zá)質：

顆粒物

油份

金(jīn)屬離子

污染同位素物質。

亞穩态物質污染。

3.雜(zá)質來(lái)源：

原料污染

原料雜(zá)質成分。

生産工(gōng)藝副産品。

工(gōng)藝失效污染。

4.過程污染：

環境帶入：空(kōng)氣成分（O2、N2、Ar、CO2）、水(shuǐ)分。

生産裝置、管道(dào)、充裝裝置帶入：水(shuǐ)、金(jīn)屬元素、顆粒物、油。

生産工(gōng)藝豐富。

包裝污染：殘留氣體污染。包裝本身帶入污染：水(shuǐ)分、金(jīn)屬元素、顆粒物。包裝内壁處理(lǐ)不合格。

分解聚合污染。

充裝過程污染:更換效率低(dī)。更換氣體污染。

真空(kōng)度不夠

以上(shàng)文(wén)章介紹了(le)高(gāo)純氣體本身雜(zá)質的基本組成。從(cóng)以上(shàng)結果可以看(kàn)出，單點質量控制法不能(néng)滿足質量穩定性和(hé)可靠性的要求，線性工(gōng)藝質量控制法不能(néng)有效監控産品周轉以外(wài)的因素。因此，綜合質量控制迫在眉睫。

工(gōng)業氣體